Kelebihan
• Produk CS100 menggunakan reka bentuk tersuai pelanggan,
• Pelanggan boleh memilih ±15V bekalan kuasa ganda atau + 24 bekalan kuasa tunggal mengikut keperluan;
• meterai logam atau meterai getah;
• Saiz produk boleh dipilih untuk produk yang memenuhi piawaian SEMI antarabangsa yang umum, atau produk yang ketat.
Parameter teknikal
CS100 |
||||||||||||||
Nombor Model |
CS100A |
CS100D |
||||||||||||
Jenis injap |
Sering ditutup |
Tiada |
Sering ditutup |
Tiada |
||||||||||
Spesifikasi aliran (N2) |
(0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
(0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
||||||||||||
Ketepatan |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.); ±0.35% F.S.(<35% F.S.) |
|||||||||||||
Linear |
±0.5% F.S. |
|||||||||||||
Ketepatan berulang |
±0.2% F.S. |
|||||||||||||
Masa tindak balas |
≤ 1sec |
|||||||||||||
Julat perbezaan tekanan kerja |
0.05~0.35MPa; Spesifikasi aliran ≤10SLM |
<0.02 MPa |
0.05~0.35MPa; Spesifikasi aliran ≤10SLM |
<0.02 MPa |
||||||||||
Faktor Suhu |
titik sifar: ≤ ± 0.05% FS / ℃; Apabila diselaraskan: ≤ ± 0.1% FS / ℃ |
|||||||||||||
tekanan tahan |
3MPa |
10MPa |
3MPa |
10MPa |
||||||||||
Kadar Kebocoran |
1×10-9Pa·m3/ sec He(1×10-8atm·cc / sec He) |
|||||||||||||
Bahan pengedap |
getah fluoride |
meterai logam |
||||||||||||
Tekanan kerja maksimum |
0.45MPa |
|||||||||||||
Suhu persekitaran kerja |
(5~45)℃ |
|||||||||||||
Masukkan isyarat |
Simulasi: |
Nombor: RS485 |
Tiada |
Tiada |
Simulasi: |
Nombor: RS485 |
Tiada |
Tiada |
||||||
Isyarat output |
Simulasi: |
Nombor: RS485 |
Simulasi: (0 ~ 5) VDC |
Nombor: RS485 |
Simulasi: |
Nombor: RS485 |
Simulasi: |
Nombor: RS485 |
||||||
Bentuk sambungan kuasa |
Jenis D 9 jarum Jenis D 15 jarum |
Jenis D 9 jarum Jenis O 3 jarum |
Jenis D 15 jarum |
Jenis D 9 jarum Jenis D 15 jarum |
D jenis 9-pin penyambung; Jenis O 3 Pin Sun Sambungan |
Jenis D 15-pin sambungan |
Jenis D 9 jarum Jenis D 15 jarum |
Jenis D 9 jarum Jenis O 3 jarum |
Jenis D 15 jarum |
Jenis D 9 jarum Jenis D 15 jarum |
D jenis 9-pin penyambung; Jenis O 3 Pin Sun Sambungan |
Jenis D 15-pin sambungan |
||
Bekalan kuasa |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
||
Silahkan automatik |
Sokongan |
|||||||||||||
Kasuran permukaan |
25μinch Ra |
|||||||||||||
Bentuk sambungan standard |
set kad ganda φ6; set kad ganda φ3; Dua set kad 1/4 ''; Dua set kad 1/8 ''; VCR1 / 4 ´ sambungan solar; φ6 (dalam) x1 sambungan tiub; φ5 (dalam) x1.5 sambungan tius; φ4 (dalam) x1 sambungan tiub |
VCR1 / 4 "penyambung solar |
||||||||||||
berat badan |
1.2Kg |
1Kg |
1.2Kg |
1Kg |