Sistem OTL-PECVD-1200PECVD terdiri daripada tungku paip vakum OTL1200, bilik vakum kuarsa, bekalan kuasa frekuensi radio, sistem bekalan gas GX, sistem pam gas, sistem pengukuran vakum.

Ciri-ciri utama:

1, mengubah gas dalam bilik vakum kuarsa menjadi keadaan ion melalui bekalan kuasa frekuensi radio.

PECVD mempunyai suhu yang lebih rendah daripada CVD biasa yang diperlukan untuk membuat deposit gas kimia.

3, boleh mengawal saiz tekanan filem yang disimpan melalui frekuensi bekalan kuasa frekuensi radio.

PECVD mempunyai kadar pelepasan gas kimia yang tinggi, seragam yang baik, konsistensi dan kestabilan yang tinggi daripada CVD biasa.

5, digunakan secara meluas dalam: pertumbuhan pelbagai filem nipis, seperti: SiOx, SiNx, SiOxNy dan silikon amortip (a-Si: H) dan lain-lain.

Sistem OTL-PECVD-1200 PECVD menggunakan wayar rintangan Kanthal Sweden sebagai komponen pemanasan, menggunakan struktur kerangka dua lapisan dan alat pengukur suhu kawalan prosedur 30 bahagian, pemicu fasa beralih, kawalan silikon yang kawalan, bahan serat polikristal aluminium oksida digunakan dalam tungku, kedua-dua hujung paip tungku boleh menyegel flange keluli tahan karat, flange keluli tahan karat dipasang pada mulut udara, injap dan pengukur tekanan, vakum boleh mencapai 10-3 Pa apabila memomp vakum, dengan keseimbangan medan suhu, suhu permukaan yang rendah, kadar suhu yang cepat, penjimatan tenaga, harga yang murah dan lain-lain kelebihan.

(3) keseimbangan rintangan, keseimbangan medan suhu yang baik

(4), komponen pemanasan: Sweden Kanthal A1 import rintangan wayar (rintangan wayar boleh menjanjikan jaminan 2 tahun)

Buka kosong akan terputus secara automatik apabila litar berlebihan atau kebocoran

Kompor ini dilengkapi dengan antara muka komunikasi dan perisian, boleh mengawal pelbagai parameter kompor secara langsung melalui komputer, dan dapat memerhatikan nilai suhu PV dan SV dan operasi instrumen pada kompor dari komputer, kompor lengkung pemanasan sebenar akan digambar dalam masa nyata dan dapat menyimpan data suhu setiap saat, pada bila-bila masa anda boleh menyesuaikan vakum.

(2) Penggunaan teknologi Jepun.

(3), jarak dan jarak simpanan wayar rintangan dalam perapian semuanya diletakkan mengikut teknologi industri termal terbaik Jepun, melalui perisian industri termal untuk simulasi medan suhu

(4) Menggunakan pemanasan 4 minggu, medan suhu lebih seimbang

(Semua peralatan elektrik import yang disahkan UL)